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ACM Research expédie son premier système de voie Ultra Lith KrF à une usine de semi-conducteurs chinoise de premier plan.
ACM Research a lancé son premier système de piste Ultra Lith KrF, conçu pour la fabrication de semi-conducteurs à haut débit.
Le système, qui élargit les offres de lithographie d'ACM, a été expédié à un haut chinois de la logique wafer fab en septembre 2025.
Il dispose de 12 couches de spin, 12 développeurs et 54 plaques chaudes pour un contrôle thermique avancé, avec une surveillance en temps réel des processus pour améliorer l'efficacité de production.
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ACM Research ships its first Ultra Lith KrF track system to a leading Chinese semiconductor factory.