Imec produit des nanopores ultra-petites et uniformes utilisant la lithographie des VUE, faisant progresser les biocapteurs de la génomique et de la médecine. Imec mass-produces ultra-small, uniform nanopores using EUV lithography, advancing biosensors for genomics and medicine.

Imec a réalisé la première production à l'échelle des gaufres de nanopores à l'état solide en utilisant la lithographie EUV sur des gaufres de silicium de 300 mm, permettant la production en masse de nanopores très uniformes, d'une taille inférieure à 10 nanomètres, avec un potentiel de taille inférieure à 5nm. Imec has achieved the first wafer-scale production of solid-state nanopores using EUV lithography on 300mm silicon wafers, enabling mass production of highly uniform nanopores as small as 10 nanometers with potential for sizes below 5nm. Le processus compatible avec le CMOS permet de surmonter les défis passés d'évolutivité et de variabilité, ce qui donne un rapport signal-bruit de 6,2, ce qui indique une forte performance pour détecter les translocations moléculaires. The CMOS-compatible process overcomes past scalability and variability challenges, yielding a signal-to-noise ratio of 6.2, indicating strong performance for detecting molecular translocations. Cette percée ouvre la voie à des réseaux de biocapteurs à haut débit avec des applications en génomique, en diagnostic, en médecine personnalisée et en stockage de données moléculaires, transformant la technologie nanopore de la recherche en laboratoire en une utilisation pratique et à grande échelle. This breakthrough paves the way for high-throughput biosensor arrays with applications in genomics, diagnostics, personalized medicine, and molecular data storage, transforming nanopore technology from lab research to practical, large-scale use.